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上海维特锐实业发展有限公司是工厂、物流中心自动化输送线设计、制造、安装调试的专业工程公司。公司位于中国经济中心上海，科研力量雄厚、机械制造业发达。经多年的发展，公司不仅对传统产品进行不断完善、革新，精致的零件加工，细节的关注，使我们的产品更安全、经济、稳定、美观，更加自动化、人性化。

Brooks布鲁克斯GF100质量流量控制器应用

GF100系列金属密封热式质量流量控制器*高纯度气路。超高精确，无污染的控制。

现今许多高级电子元器件的加工工艺都需要能够对昂贵的超纯气体和液态前体进行相当准确并且具有高度可重现性的测定和控制。因此，布鲁克斯仪器推出了自家的革命性金属密封热质量流量控制器和仪表来满足上述需求。该产品将稳定性和准确性超高的测量传感器与快速、精准的控制阀以及功能强大的电子元件相结合共同实现了精准的化学品控制。高完整性（无泄漏）的超高纯度全金属流路可确保过程化学品纯度，该流路专为防止外部污染（如湿气和氧气）腐蚀过程媒介而设计。

应用

硅材料半导体器件制造工艺 – 蚀刻、剥膜、CVD、ALD、PVD、Epi、扩散、植入和 RTP

化合物半导体器件加工工艺 – MOCVD

精密的表面涂层

分析系统

真空处理应用

适用于对湿度或氧气敏感的过程

高纯度流路可最大限度降低过程污染，提高产率

超快速响应能力

参数

流体类型  气体

流量范围-满量程容量  06 sccm - 300 slpm

精度   SP ±1%

最大压力   150 psig

温度   50℃

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